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im体育_掩膜版行业深度报告:光刻工艺“底片”
2021-06-29 02:02

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  掩膜版:光刻工艺“底片”。掩膜版是微电子创造经由中的图形改良工 具或母版,是承载图形摆设和工艺手腕等知识产权音信的载体。掩膜版 按用途分类可分为铬版、干版、液体凸版和菲林,上游严重囊括图形设 计、光掩膜配备及原料行业,下游重要囊括 IC 建造及封装、平面展现 和印制线途板等行业。掩膜版是卑贱产品精度和质量的决断名望之一。

  卑鄙运用行业:产业相联向国内革新,掩膜版进口代替颠末加速。随着 全球呆板显示资产、触控产业、半导体产业和电途板财富向国内变换升 级,国内的电子元器件行业生长迅捷,拉动了掩膜版行业的市场需要。同时,国家和周遭各级政府片面连年来出台了一系列战略和门径对固执 再现行业和半导体芯片行业赐与严密帮助,促使掩膜版行业国产化。

  掩膜版行业:行业陆续发达,临时寡头把持。全球光掩膜版阛阓陆续增 长,2019 年环球半导体掩膜版商场规模为 41 亿美元。2016 年国内半导 体光掩膜版阛阓界限为 59。5 亿元。2018 年举世笨拙展现掩膜版需要为 58 亿元,个中中原大陆古板表现掩膜版需要为 23 亿元。掩膜版群众向 更高精度、大尺寸、全物业链主旨繁荣。由于掩膜版行业门槛较高,国 内掩膜版行业要紧由海外掩膜版厂商湮灭,美国 Photronics、日本 DNP 以及日本 Toppan 三家公司市场份额高出 80%,国内清溢光电缓缓突破。

  上游原材料行业:原材料永远依靠进口。掩膜版沉要原资料为玻璃基板, 按材质分为石英基板和苏打基板,其中,石英基板为掩膜版市场主流原 原料。短暂,惟有少数厂商周备上游基材临蓐才略,大普通掩膜版企业 主要接纳采购掩膜版基材的本领。掩膜版上游原材厂商首要聚集在日本 和韩国,我国菲利华和石英股份徐徐达成打破,后续有望缓缓放量。

  掩膜版(Photomask)又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是微电子创造 原委中的图形转换工具或母版,是承载图形调节和工艺要领等知识产权消息的载体。掩 膜版用于卑劣电子元器件制造业批量生产,是卑鄙行业分娩过程毗邻的首要局限,是下贱产品精度和原料的决断身分之一。

  掩膜版的功能相仿于守旧拍照机的“底片”,其事项意义如下:按照客户所必要的 图形,掩膜版厂商经过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的仔细图案刻制于掩膜版基板 上,掩膜版的原原料掩膜版基板是制作细小光掩膜图形的感光空白板,再将不须要的金 属层和胶层洗去,即获得掩膜版产成品。掩膜版对低劣行业临蓐线的熏陶主要展现为利 用掩膜版上已就寝好的图案,始末透光与非透光的方法举办图像(路图形)复制,从而 告竣批量临盆。

  光掩膜上游严浸席卷图形计划、光掩膜设备及材料行业,首要供应厂商席卷日本东 曹,日本信越化学、日本尼康和菲利华等;中游为掩膜版建造行业,苛重企业包罗日本 HOYA,日本 DNP,韩国 LG-IT、日本 SKE 和清溢光电;拙劣紧要囊括 IC 修造、IC 封装、 平面表现和印制线路板等行业,广泛利用于蹧跶电子、家电、汽车等电子产品领域,主 要客户为半导体厂商英特尔、三星、台积电等以及显示屏厂商京东方、华星光电等。

  掩膜版首要由基板和遮光膜两个部分组成。基板分为树脂基板和玻璃基板,玻璃基 板浸要包括石英基板和苏打基板,依照遮光膜种类的分歧,能够分为硬质遮光膜和乳胶。光掩膜按用途分类可分为四种,阔别为铬版(chrome)、干版、液体凸版和菲林。此中, 铬版精度最高,耐用性更好,广大利用于死板展现、IC、印刷线路板和精细电子元器件 行业;干版、液体凸版和菲林合键用于中低精度 LCD 行业、PCB 及 IC 载板等行业。

  (1)图形铺排:收到客户图形后,进程专业睡觉软件对客户的图形做二次编辑打点与 搜检。

  (2)图形蜕变:将客户央求的幅员安放数据分层,运算。再按拍照应的工艺参数将文 件式样转化为光刻装置专用的数据事态。

  (3)图形光刻:经由光刻机实行激光光束直写告竣客户图形曝光。掩膜版制作都是采 用正性光刻胶,经由激光感动使须要曝光地域的光刻胶里面发作交联反映,从而爆发性 能转化。

  (4)显影:将曝光完毕后的掩膜版显影,以便举行蚀刻。在显影液的劝化下,原委激 光曝光地区的光刻胶会熔化,而未曝光区域则会生存并络续保护铬膜。

  (5)蚀刻:对铬层进行蚀刻,保全图形。在蚀刻液的熏陶下,没有光刻胶偏护的地域 会被侵蚀溶化,而有光刻胶掩饰的地域的铬膜则会保留。

  (6)脱膜:光刻胶的掩饰性能已经达成,脱膜工序经由脱膜液去除足够光刻胶。

  (8)尺寸丈量:遵命品质应允对掩膜版合键尺寸(CD 精度)和图形荣誉(TP 精度) 举行衡量,判决尺寸的正确水准。

  (9)罅隙检修:对比客户法子/品格指标检测掩膜版制版通过发作的漏洞并记录坐标及 联系信歇。掩膜版的基础检查要紧有:基板、名称、版别、图形、陈列、膜层相干、伤 痕、图形四周、渺小尺寸、统统尺寸、破绽检查等。

  (10)破绽补缀:对考验兴办罅隙举行缮治。补葺包罗对失去的轻微铬膜举办 LCVD 浸积补正以及对足够的铬膜举行激光切除等。

  (12)贴膜:将 Pellicle 贴合在掩膜版之上,下降下游客户制作历程中灰尘变成的不良 率。

  随着电子信歇权术的日月牙异,5G 手腕和人工智能带头卑贱终端电子产品的改变 换代疾度越来越快,以机械电视、札记本电脑、数码相机、智熟行机等产品为主的销耗 类电子产品产销量相联扩展,为平板表现、半导体芯片、触控、电路板等电子元器件相 关行业带来强盛的阛阓空间,间接鼓动了掩膜版行业的兴盛。同时,电子元器件修造商 为了顺心其低劣产品的多性能、小型化、便携性等需要,赓续加大机谋进入,创办新材 料、新法子以及研发新产品,这也为掩膜版行业的生长带来了更多市集须要。

  全球呆板表示物业支撑安靖增补,业态兴盛表示尺寸大型化、比赛白热化、转折加 快化、产品定制化等特色,受益于电视平均尺寸扩大,大屏手机、车载表现和团体表现 等须要的拉动,遵照 IHS 预计,2016 年-2025 年全球新型显示面板须要面积的 CAGR 预 计将达 4%,到 2025 年添补至 2。66 亿平方米。

  依照 IHS 统计,2019 年至 2021 年,大家国已经营投产的 TFT-LCD 产线 条,其 中高世代线 年所有人国已经营投产的 AMOLED 产线 条,此中 LTPS 线%。他们国死板呈现行业对掩膜版产品加倍是高 世代、高精度掩膜版产品的需要将接连补充。据 IHS 统计测算,中原大陆笨拙表示行业 掩膜版必要量占环球比浸,依然从 2011 年的 5%高涨到 2017 年的 32%。将来随着相关产 业进一步向国内改造,国内板滞体现行业掩膜版的须要量将相联飞腾,臆度到 2021 年, 华夏大陆固执表示行业掩膜版需求量全球占比将到达 56%。

  从命 WSTS 统计数据,2018 年全球半导体芯片产业阛阓界限达到 4779。40 亿美元, 同比增添 15。90%,市集规模创下历史新高。2018 年中原半导体芯片家当规模 6574。40 亿元,同比减少 21。50%。来日,半导体芯片产能将进一步向国内改良,在智能汽车、 人工智能、保全器市场、物联网、5G 通信商用等界限快速繁荣的启发下,半导体芯片 物业迎来新一轮的进展高涨。

  触控行业产品能够使用于智熟行机、沉静电脑、车载显示、智能家居、医疗器材、 工业控制等周围。暂时,智内行机、板滞电脑和车载展现是触控行业的首要运用领域。智熟手机领域,2016 年全球智老手机出货量抵达最大为 14。71 亿台,近几年觉察下滑 的趋势,2019 年举世智好手机出货量为 13。71 亿台,同比着落 2。41%。IDC 预计,随着 5G 蚁集的逐步商用,2020 年智在行机出货量会发掘反弹,同比将增长 1。6%。

  刻板电脑周围,呆滞电脑全球出货量自 2014 年觉察下滑,2019 年出货量为 1。44 亿台,同比下 降 0。83%,2019 年,国内死板电脑阛阓自 2015 年初度创造反弹,出货量为 2241 万台, 同比减少 0。8%。车载触控模组阛阓,遵守 HISMarkit 的数据,全球车载触控模组 2019 年出货量猜念为 6414。2 万套,同比补充 1。07%,随着来日经济复苏和自愿驾驶汽车逐 渐普遍,揣摸来日两年保持稳步补充,2022 年市场扩展幅度将放大为 7。15%,2023 年 出货量将到达 7689。34 万套。综合来看,触控行业处于成熟期,触控用掩膜版仍具有稳 定的商场需要。

  电说板行业关键运用于智内行机、沉静电脑、手持触控电子产品、数码相机、汽车 电子产品、调理产品等。遵从 Prismark 瞻望,大家日几年举世 PCB 行业产值将赓续加添, 到 2022 年举世 PCB 行业产值将达到 688。10 亿美元。

  2016 年至 2021 年亚洲将持续主导 举世 PCB 商场的兴盛,而华夏位居亚洲市集不成震动的中心身分,中原大陆 PCB 行业将 支持 3。7%的复合补充率,忖度 2022 年行业总产值将抵达 356。86 亿美元;中原 PCB 家当各细分产品产值增快均高于全球均衡水平,加倍在高多层板、HDI 板、挠性板(柔性 电谈板)和封装基板等种种高门径含量细分 PCB 范畴,产业转换趋势彰彰。

  电谈板行业 正处于稳步开展期,而在改日可臆想的功夫内柔性电路板处于快疾成长期,柔性线路板用掩膜版周围有望迎来新的成长机缘。

  从地区流传看,恪守 WSTS 统计数据,亚太区域阛阓规模占 全球商场的比例连续降低,亚太与日本市集一共约占举世半导体市集的 70%把握,2017 年,全球半导体阛阓领域为 4122。21 亿美元,同比扩展 21。6%,2018 年举世半导体阛阓 坚持推广势头,阛阓领域达到 4779。40 亿美元,同比增多 15。90%;从芯片出卖额看, 效力 WSTS 发布的数据,2016 年华夏半导体浪掷额 1075 亿美元,占举世总量的 32%,已 成为全球最大的半导体浪费市场。随着国内创造业环节快速发展,以及国内强盛的损耗 市集和工作力生齿优势,环球掩膜版卑贱应用的关键商场将加快向国内革新,天下阛阓 份额连续向华夏聚合。

  步履全球高端家产的危机组成局部,枯燥呈现行业和半导体芯片行业是所有人国要点扶 持的政策新兴资产,国家和边际各级政府局限近年来出台了一系列策略和权术赐与全面 援助,进一步齐备财产链。如《关于印发 2014-2016 年新型呈现家当革新进展营谋放置 的叙演》、《“十三五”国家策略性新兴产业开展筹办》、《扩大和升级讯休亏损三年举止 安置(2018-2020 年)》、《粤港澳大湾区生长规划提纲》的接连出台,为电子元器件行 业需要了有利的计谋维持,笨拙展现和半导体等行业上涨到国家策略进展的高度。掩膜 版行业举止电子元器件的上游行业,属于国家进展策略的告急环节之一,受国物业业政 策撑持,这为掩膜版行业供应了卓越的发达机遇。

  环球半导体用光掩膜版市场 连续增长,2019 年环球半导体光掩膜版市集规模为 41 亿美元,虽然相较 2018 年略有 下滑,但大众仍体现连绵扩大的态势。大家国掩膜版须要继续推广,2016 年国内阛阓规 模抵达 59。5 亿元。

  然则由于国内掩膜版行业发展过时,需要未及时跟进,所以国内掩膜版供需缺口逐 年放大。2011 年他们国掩膜版需要由 5。09 万平方米扩张至 2016 年 7。98 万平方米,产量 则由 0。87 万平方米扩大至 1。69 万平方米,供给缺口由 4。22 万平方米扩充至 6。29 万平 方米。

  在拘束体现周围,据 IHS,2018 年举世平板显露掩膜版须要为 58 亿元,个中华夏 大陆古板表现掩膜版需要为 23 亿元,占全球商场必要比率为 40%。随着华夏大陆面板 厂商赓续投资新的迟钝显露产线 年中国平板表示产能的举世据有率将达到52%,中原大陆板滞表示掩膜版阛阓范畴将表示连续快疾扩张的趋势。

  掩膜版行业的成长紧要受卑鄙板滞显示行业、半导体芯片行业、触控行业和电路板 行业的进展教化,与下贱终端行业的主流糟蹋电子、札记本电脑、车载电子、收集通信、 家用电器、LED 照明、物联网、调治电子等产品的生长趋势亲密关连,未来几年掩膜版 将向更高精度、大尺寸、全产业链主见繁荣。

  随着销耗者对再现产品的请求缓缓提升,手机、重静 电脑等转移末梢向着更高清、色彩度更鼓和、更佻薄化生长。遵循 IHS 预测,异日体现 屏的呈现精度将从 450PPI(每英寸像素)迟缓降低到 650PPI 以上,对板滞再现掩膜版 的半导体层、光刻折柳率、最小过孔、CD 平均性、套关精度、罅隙大小、清白度均提 出了更高的技巧哀求。在半导体方面,临时境内主流先辈创造工艺为 28nm 工艺,境外 主流为 14nm,三星已量产 10nm 工艺的晶圆,推测 2019 年内能竣工 7nm 工艺的量产, 而台积电已量产 7nm 工艺,改日集成电途的制造工艺将进一步细密化,朝 5nm-3nm 工艺 起色,这对与之配套的掩膜版以及半导体芯片封装用掩膜版提出了更高条件,线缝精度 条件越来越高。因此,另日掩膜版产品的精度将日趋细腻化。

  自 2007 年液晶电视发轫湮灭主流市场后,其均衡尺 寸简单根据每年添加 1 英寸的速度不变推广。依照 IHS 统计和瞻望,43 英寸、55 英寸、 65 英寸、70 英寸等大尺寸电视出货量逐年推广。电视尺寸趋向大型化,导致国内面板 基板慢慢趋向大型化,直接定夺了掩膜版产品尺寸趋向大型化。

  掩膜版的紧要原材料为掩膜版基板,即涂有光刻胶 和镀铬的玻璃基板,光刻胶有必定的时效性,失效后会劝化产品原料。随着掩膜版行业 下游客户对其最后产品的品格条件连接抬高,推进掩膜版企业不断查究产品品质上的突 破,而掩膜版基板的材料,对掩膜版产品结尾品德具有巨大教化。因此,从下降原材料 采购资本和限制终端产品材料开航,掩膜版行业中主产厂家联贯进取游行业延迟,一面 企业一经齐备了研磨、抛光、镀铬、涂胶等掩膜版基板全物业链的生产能干,这不单可以有效消极原原料的采购成本,并且可能有效普及掩膜版产品质料。来日掩膜版行业内 具有必要气力的企业,将渐渐进步游财产链拓展。

  在 TFT 领域,大家国 TFT 掩膜版需求接续扩充,可是国内能够配套 TFT 用掩膜版的企 业唯有途维光电和清溢光电,紧要针对 G8。5 以下掩膜版;AMOLED、Gray-tone、Half-tone 等掩膜版均凭借进口。半导体范围,英特尔、三星、台积电三家环球开始进的晶元制作 厂,其所用的掩膜版绝大部门由自己的专业工厂临蓐;另外掩膜版主要被美国 Photronics、日本 DNP 以及日本 Toppan 三家公司所操纵。

  掩膜版为权谋蚁集型和本钱麇集型行业, 对资本气力央求较高,掩膜版产品属于详细度较高的定制化产品,具有较高的装备门槛和伎俩门槛,国内掩膜版行业的中高端阛阓仍重要由国外掩膜版厂商泯没,如在 AMOLED (有源矩阵有机发光二极面子板)用高精度掩膜版领域,由于主题办法首要摆布在 HOYA、 SKE、PKL 等境外厂商手中,而这些企业对待掩膜版的首要措施进行了较为厉格的封关。全部人国掩膜版规模由于起步如故相对较晚,在高端掩膜版产品的办法程度和综闭产能上与 国际厂商仍存在必要差距。由于掩膜版行业的高投入门槛,短暂市集沉要到场者为境内 外出名企业,市集蚁合度较高,谁日角逐体例将较为寂寥。

  面板范围,国内能够配套 TFT(薄膜晶体管)用掩膜版的企业唯有途维光电和清溢光电,合键针对 8。5 代以下掩 膜版;半导体界限,少数企业如无锡华润、无锡中微等,只能建造 0。13μm 以上 Stepper Mask;对待 HTM(半透膜)、GTM(灰阶掩模板)、PSM(前辈相移掩模)等掩模版,全部人国 严重依附进口。

  掩膜版产品的原资料和主旨资料为玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等,此中 要紧原资料为玻璃基板,按材质分为石英基板和苏打基板,石英基板利用石英玻璃活动 材料,光学透过率高,热膨胀率低,比较苏打玻璃更为平缓和耐磨,行使寿命长,紧要 用于高精度掩膜版。由于石英玻璃的优异特征,他日其在掩膜版产品中的使用会特别广 泛。

  比年来,石英掩膜版依据其详尽度较高的优势成为了掩 膜版行业主流产品,苏打掩膜版的市集需求渐渐颓唐。环球带头掩膜版厂商的严浸产品 均为石英掩膜版,部分厂商乃至完全退出苏打掩膜版的临蓐售卖,导致石英掩膜版产品 市场角逐更为强烈,所以对原原料石英基板的需要也会渐渐降低。由于石英基材坐蓐工 艺难度高,我们国尚未完结国产化,首要依据进口。刹那,只要少数厂商完备上游基材生 产才略,大广博掩膜版企业首要选用采购掩膜版基材的手腕。掩膜版上游原材厂商苛重 凑集在日本和韩国,国内罕见家企业有本事分娩,关键席卷菲利华、石英股份等;对待半导体用高精度及高世代面板用基材,根基被日韩企业专揽。

  深圳清溢光电股份有限公司自 1997 年设置平昔从事掩 膜版的研发、就寝、分娩和卖出贸易,是国内设立最早、范畴最大的掩膜版生产企业之 一。自 1998 年 3 月推出铬版掩膜版增添了国内空白以来,公司经历连绵举办研发参加 和产品立异,机谋永世保护国内发动,推出掩膜版产品频频增长国内空白,压缩了全部人国 与国际在掩膜版方面的差距。作为行业出手者,公司孑立申请、主导体例的电子行业标 准加多了掩膜版界限模范空白。用命 IHS 统计的 2018 年环球迟钝再现掩膜版企业出卖 金额排名,公司位列环球第六名,是国内唯一上榜企业。

  公司于2019年11月20日于科创板上市,募集血本40250 万元,用于投资合肥清溢光电有限公司 8。5 代及以下高精度掩膜版项目关肥清溢光电有 限公司掩膜版手腕研发重心项目。8。5 代及以下 TFT-LCD 用掩膜版及 6 代高精度 AMOLED/LTPS 用掩膜版是公司比年开发的现有高端主要产品,且则国内可能供给该产品 的厂家少许,现阶段重要由外洋厂家得志商场必要。该项目修成达产后公司可年产掩膜 版 1852 张,妄诞了公司现有坐蓐范围,降低生产资本,普及我们国机械表现产业链配套 的国产化率。关肥清溢光电有限公司掩膜版办法研发中心项目建成后,将大大加快公司 以 HTM、OPC、PSM 等办法为代表的新产品、新工艺的研发,并积极激动恶果物业化快度, 对相联保护公司行业内拓荒者和领先者声望有贯注要事理,有利于公司的深刻生长。

  随着公司新增坐蓐装备入手下手释放产能以及与低劣粘稠著名 企业设备了优良的关作关连,2019 年公司获得较好的经业务绩,达成开业收入 4。8 亿 元,同比扩张 17。74%;完结归母净利润 0。7 亿元,同比填补 12。18%。2020 年第一季度, 公司达成营收 1。23 亿元,同比减少 25。87%,完毕归母净利润 0。17 亿元,同比增加 12。67%。菲利华:石英玻璃龙头企业

  。菲利华凝思于石英玻璃和石英纤维原料的研发临盆,在半 导体、光学、航空航天、光通讯界限建筑出各类化的产品。

  公司是国内唯一一家颠末国际三大半导体原产装置商认 证的石英材料企业。同时,公司是国内首家具备坐蓐 G8 代大尺寸光掩膜板基材的坐蓐 企业,暂且已推出从 G4 代到 G8 代的系列产品,毁坏海外公司的本领操纵。

  。光学领域,公司是国内少数几家从事合成石英研发与创造的 企业,在大规格闭成石英资料制作权术及临盆周围上,已处于国内带头名誉,公司独家 研发坐蓐 G8 代光掩膜基板,摧毁了永世从此海外操纵。公司是举世少数几家具有石英 纤维批量临蓐干练的筑造商之一,也是国内航空航天范畴用石英纤维及制品的主导提供 商。公司运动亚洲和国内光通讯行业用石英辅材首要需要商,与要紧光纤光棒临蓐厂家 均设立了万世的政策团结干系,弥漫受益国家 5G 策略的胀舞。公司在增强光通讯行业 现有主导产品支持棒、厚壁管的黑幕上,缓缓弥补了炉芯管、石英器件临蓐及预制棒对 接开业,完竣了产品链。

  2019 年,公司完结营业收入 7。79 亿元, 同比增添 7。88%;完结归母净利润 1。92 亿元,同比加多 18。83%。2020 年 Q1 受疫情影 响,公司实现营收 1。08 亿元,同比下滑 38。40%,完毕归母净利润 0。16 亿元,同比下 滑 42。02%。石英股份:电子级石英砂迎来打破

  石英股份关键利用天然石英矿石原料从事高纯石英砂、 高纯石英管(棒、板、锭、筒)、 石英坩埚及其全班人石英材料的研发、坐蓐与售卖;产品 紧要操纵于光源、光伏、光纤、半导体、光学等范围。

  公司高纯石英砂生意经历门径抬高、 装备校勘等措施,提高产品品质,圆满工艺伎俩水准,常年共达成营收 8956。67 万元, 同比增加 109%,在公司集体营业中占比 14。57%,创史乘新高。光电开业板块经由加快 产品机关转型,保障可连续起色,新贸易领域产品快速增进,占比再革新高。新的热加 工坐蓐线快速实现量产;新制砣工厂以高出发点、高准绳、智能化的央浼投入运行。电子级产品生意局限主动推进半导体产品国际认证,在产品经历节制、本事研发势力、项目 统治能力、设计交付水平等方面大幅抬高。im体育通过不懈死力,在 2019 年腊尾成功进程 TEL 认证,成为公司产品迈向国际高端石英行使阛阓的危殆里程碑,也开启了公司投入环球 半导体石英材料提供链体系的大门。其它, 公司还在主动推进 AMAT、LAM、日立等其 他国际、国内半导体会证,有望在 2020-2021 年严谨经由举世首要半导体公司认证(包 括扩散和刻蚀周围),稹密进军国际半导体阛阓。

  为了快速推进二期项目建筑, 惬心市场需要,公司过程资本阛阓发行可改革债券 3。6 亿元统治资本缺口。住手 2019 岁晚,6000 吨/年电子级石英产品主体厂房已顺手封顶,涉及装备采购、高压电站、气 站等原形能源配套举措在积极胀吹中;20000 吨/年高纯石英砂二期项目完毕了前期规 划、铺排、装备选型等工作,但受制于新增用地手续的完好,项目作战滞后;东海工厂 的石英制砣项目挺进顺利,源委光电行状部团队的竭力与支付,项目在短期间内筑成投 产并投放阛阓,达成了光电行状部新开业板块的增补;为了进一步勘误员工办公环境, 公司对原有办公环境举行装筑跳级;新的行政综关体项目也在紧急筹办安排中。

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