MEMS设计加工
IM体育-掩膜版
2021-06-28 00:00

掩模板又被称为mask或光罩,分成铬版、干版、丝印网版、凸版等,含光提议使用高精度、经久耐用的铬版。运用于芯片制造的光掩膜为高敏感性的铬版,由表层全平并含有一层厚约0.1um铬层的石英石板或玻璃制做而成,蚀刻加工后的残余铬一部分即是设计方案的图型。

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